根据微纳光电子器件制备工艺要求，平台规划的仪器设备划分为材料生长设备、微纳加工设备、器件表征与测试设备和器件封装与检测设备。加工能力覆盖微米到纳米尺度，能够满足多种新型光电集成器件的加工制备与测试需求。

平台设备规划