设备名称：甩干机

设备简介：甩干机是半导体晶圆在湿法清洗后，用于快速、均匀去除晶圆表面残余液体的关键辅助设备，通过高速旋转产生离心力，将晶圆表面的清洗液甩出，同时在旋转过程中结合氮气吹扫，实现低颗粒污染的晶圆干燥。